HPS1000  [ Chip Sorter ]

  HPS1000은 6" Wafer Ring에 점착되어있는 Chip의 양.불을 판정하여 양품만 Pick-Up한 후 Wafer Ring or Waffle Tray에 탑재하는 장비로써 Camera를 사용한 Vision System Align방식이다.

    High productivity and reliability

    Easy operation and maintenance

   파장판 Filter, 편광 Filter, 파장판, Chip Wafer, IR Filter, etc

  Loading

6 inch Wafer Ring (Manual loading)

  Unloading

6 inch Wafer Ring or Waffle Tray (Manual loading)

  Vision cam-1

Loader stage align

  Vision cam-2

Pick-up wafer align