하나메카 입니다.
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HPS1000 [ Chip Sorter ] |
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HPS1000은 6" Wafer Ring에 점착되어있는 Chip의 양.불을 판정하여 양품만 Pick-Up한 후 Wafer Ring or Waffle Tray에 탑재하는 장비로써 Camera를 사용한 Vision System Align방식이다. |
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High productivity and reliability |
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Easy operation and maintenance |
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파장판 Filter, 편광 Filter, 파장판, Chip Wafer, IR Filter, etc |
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Loading |
6 inch Wafer Ring (Manual loading) |
Unloading |
6 inch Wafer Ring or Waffle Tray (Manual loading) |
Vision cam-1 |
Loader stage align |
Vision cam-2 |
Pick-up wafer align |
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