HPS1100  [ Chip Sorter ]

  HPS1100은 6" Wafer Ring에 점착되어있는 Chip의 양.불을 판정하여 양품만 Pick-Up한 후 Wafer Ring or Waffle Tray에 탑재하는 장비로써 Camera를 사용한 Vision System Align방식이다.

    High productivity and reliability

    Easy operation and maintenance

    Loader stage mapping check

   파장판 Filter, 편광 Filter, 파장판, Chip Wafer, IR Filter, etc

  Loading

6 inch Wafer Ring (자공공급)

  Unloading

6 inch Wafer Ring or Waffle Tray (자공공급)

  Vision cam-1

Loader stage mapping check

  Vision cam-2

Loading stage align

  Vision cam-3

Pick-up wafer align